ガス配管ユニット


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  • クリーンルーム内で一貫生産(クラス100、1000)
  • CVD、エッチング、アッシング装置のプロセスガス供給ライン、ベントライン設計・製造
  • 多様な配管材料、部品の溶接に対応する豊富なバックデータ
  • 短納期、少量製作にも対応致します
製造環境 クリーンルーム クラス100/1000
対応部品メーカ フジキン、スウェージロック、キッツエスシーティー、タバイエステック、CKDほか多数
使用配管グレード SUS316L BA、EP(WEP)
対応配管径 Φ1/8、Φ1/4、Φ3/8、Φ1/2インチ
主要設備 自動溶接機
  シールドガスユニット
  端面加工機
  Heリークディテクター
  パーティクルカウンター
  マスフローチェッカー
  チューブカッター
  ファインカッター

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