ALD受託成膜サービス

ALD受託成膜サービス

概要説明

概要説明

弊社相模原事業に設置しておりますALD成膜装置デモ機を使用した受託成膜サービスを実施しております。製品版2inch成膜装置と同一の装置構成を備え、装置導入前の実験やテスト成膜、プリカーサ評価等様々な用途でご利用頂けます。
成膜後の各種解析業務も承っております。是非ご活用ください。

特徴

  • レシピ設計やパラメータ設定のサポート 1) 弊社技術者が対応し、レシピ設計やパラメータ設定のサポートを致します。

  • 2) 成膜サンプルはお持込み自由です。御希望により弊社在庫のテストウェーハチップやL/Sパターンサンプル(有償)をご利用いただく事も可能です。
  • 3) プリカーサのお持込みにも対応致します。ボトル仕様によっては搭載出来ない恐れがありますので、お持込みの際は事前にボトルサイズ等の仕様を開示頂きます様お願いします。
  • 4) 弊社にて在庫しているプリカーサをご利用いただく事も可能です。また弊社にて在庫していないプリカーサもご用意できますのでお問い合わせください。
  • 5) 御要望の評価内容により、フローの変更改造や補機、追加機器等の取付に対応致します。
    改造内容により都度見積となりますのでお問い合わせください。
  • 6) SEM、TEM、STEM解析、分光エリプソメータ、EDS、XRR、XRD、FT-IR等、成膜評価も承ります。

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  • 7) 受託費用に関するお問い合わせは弊社営業部担当までお問い合わせください。
  • 8) 定期的な小Lot生産も承ります。別途ご相談ください。

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