ニュースリリース

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2016年12月1日8inch PEALD装置リリース

8inch基板まで対応する、L/L機構付PEALD装置をリリース致しました。 プラズマ機能の搭載により、低温プロセスが可能となりました。

2016年8月30日面状主要3ヒータUL規格取得

当社相模原事業所が製作する
ポリイミドヒータ(PQP)、シリコンラバーヒータ(PQS)
及びマイカヒータ(PQM)で、UL認定製品の製作が
出来る事になりました。

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2016年5月26日ホームページ一部リニューアル

ホームページを一部リニューアルしました。
ヒータ製品及びセンサ製品に新製品が追加されました。
新カテゴリー『成膜装置・ユニット』も追加されました。

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