ニュースリリース

バックナンバー  < 1 2 3 4 > 

2016年12月1日8inch PEALD装置リリース

8inch基板まで対応する、L/L機構付PEALD装置をリリース致しました。 プラズマ機能の搭載により、低温プロセスが可能となりました。

バックナンバー  < 1 2 3 4 > 


ページトップへ