真空用高精度ホットプレート


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  1. CVD
  2. ETCHING
  3. ASHING

などに最適

特徴 加熱対象
フレキ
シブル
面状 真空
対応
配管・
容器
金属 液体 気体
× ×
  • 面内の温度分布を高精度に制御
  • 形状、サイズなどご相談に応じます
  • MAX400℃まで対応(Alプレート)
  • 分割設計によりFPD G8サイズも高精度分布を実現

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