真空用高精度ホットプレート

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1. CVD
2. ETCHING
3. ASHING

などに最適

特徴			加熱対象
フレキ シブル	面状	真空 対応	配管・ 容器	金属	液体	気体
×	×	○	○	○	○	○

• 面内の温度分布を高精度に制御
• 形状、サイズなどご相談に応じます
• MAX450℃まで対応（Alプレート）
• 分割設計によりFPD G8サイズも高精度分布を実現