常圧用高精度ホットプレート


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  1. レジスト、カラーフィルター等のベーキング(FEOL)
  2. プローバ等の検査装置(BEOL)
  3. マスクガラス加熱用
特徴 加熱対象
フレキ
シブル
面状 真空
対応
配管・
容器
金属 液体 気体
× × ×
  • ヒータ一体型に比べ軽量、且つ低消費電力
  • 分割設計によりFPD G8サイズも高精度分布を実現
  • MAX400℃まで対応

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