常圧用高精度ホットプレート

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1. レジスト、カラーフィルター等のベーキング（FEOL）
2. プローバ等の検査装置（BEOL）
3. マスクガラス加熱用

特徴			加熱対象
フレキ シブル	面状	真空 対応	配管・ 容器	金属	液体	気体
×	×	×	○	○	○	○

• ヒータ一体型に比べ軽量、且つ低消費電力
• 分割設計によりFPD G8サイズも高精度分布を実現
• MAX400℃まで対応