ヒートエクスチェンジャー

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1. 半導体・FPD製造用超高純度ガス供給/加熱
2. 各種分析装置用超高純度ガス供給/加熱
3. 熱処理炉用雰囲気ガス供給などに最適

特徴			加熱対象
フレキ シブル	面状	真空 対応	配管・ 容器	金属	液体	気体
×	×	×	○	×	×	○

• EP管のみを使用したクリーン対応品
• 小型・軽量・コンパクトで高効率
• 熱電対・サーモスタット標準装備
• 入口/出口継手サイズは選択可能

1. EP管のみを使用したクリーンな構造
   ・ 継手や配管など接ガス部はオールステンレス（SUS316L）製。
   ・ 被加熱ガスは、ヒータ表面に触れることなく加熱されます。クリーンな配管内を移送中に、クリーンなまま加熱されます。
2. 小型・軽量で高効率
   ・ 本体最小サイズは□80mm×L102mm、本体重量は最小1.0kg～と小型・軽量。
   　シリーズ化により最大流量100 L/min、最高300℃まで使用可能な製品をラインアップ。
3. 熱電対、サーモスタットを標準装備
   ・ 温度制御、過昇温防止への配慮も標準装備。結線も簡単です。
4. 入口/出口の継手は変更可能
   ・ 標準継手はUJR 1/4 Femaleサイズ。
   ・ 1/4～1/2サイズまでの入口/出口サイズに対応します。

※下記以外の仕様についても、お気軽にお問合せ下さい。

型式	WEX-S1	WEX-M1	WEX-L1
最高使用温度	200℃	200℃	300℃
定格流量	～10L/min	～50L/min	～100L/min
定格容量	130W	560W	1300W
最大動作圧力	0.5MPa	→	→
標準継手	UJR 1/4 Female	→	→
接ガス部材質	SUS316L(EP仕様)	→	→
リークレート	1×10-10 Pa・m3/sec以下	→	→
所要電源	120／240V	→	→
熱 電 対	Kタイプ クラス2	→	→
サーモスタットチ	ディスク型(NC)	→	ブロック型(NC)
本体外形寸法	80×80×102	104×110×137	130×136.5×200
本体重量	1.0kg	2.0kg	3.0kg