ガス配管ユニット

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• クリーンルーム内で一貫生産（クラス100、1000）
• CVD、エッチング、アッシング装置のプロセスガス供給ライン、ベントライン設計・製造
• 多様な配管材料、部品の溶接に対応する豊富なバックデータ
• 短納期、少量製作にも対応致します

製造環境	クリーンルーム　クラス100/1000
対応部品メーカ	フジキン、スウェージロック、キッツSCT、タバイエステック、CKDほか多数
使用配管グレード	SUS316L　BA、EP（WEP）
対応配管径	Φ1/8、Φ1/4、Φ3/8、Φ1/2インチ
主要設備	自動溶接機
	シールドガスユニット
	端面加工機
	Heリークディテクター
	パーティクルカウンター
	マスフローチェッカー
	チューブカッター
	ファインカッター