窒化アルミ（AlN）ヒータ

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1. 高速昇温、高速冷却可能
2. 金属アルミに近い熱伝導率　：　熱伝導率　180W/m・K以上
3. 熱膨張率が小さい　：　熱膨張係数　4.6ｘ10-6／℃　（30～800℃）
4. 電気絶縁性が高い　：　体積抵抗率　10¹³Ω・cm以上
5. 優れた耐食性

特徴			加熱対象
フレキ シブル	面状	真空 対応	配管・ 容器	金属	液体	気体
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